ЛІТЕРАТУРА

1. Антипов Б. Л., Сорокин В. С., Терехов В. А. Материалы электронной техники: Задачи и вопросы / Под ред. В. А. Терехова. – М.: Высшая школа, 1990.

2. Основи микроэлектроники: Учебное пособие для вузов / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов, В. Т. Фролкин. – М.: Радио и связь, 1991. – 288 с.

3. Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника: Пер. с испан. С. И. Баскакова / Под ред. В. А. Терехова; Предисл. В. А. Терехова. М.: Высшая школа, 1991. – 351 с.

4. Терехов В. А. Задачник по электронным приборам. – М.: Энергоатомиздат, 1983.

5. Ефимов И. Е. Горбунов Ю. И. Козырь И. Я. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. – М.: Высшая школа, 1986.

6. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер.с англ./ Под ред. А. В. Шальнова – М.: Мир,1985.

7. Таруи Я. Основы технологии СБИС: Пер.с япон. / Под ред. В. Г. Ржа-нова. – М.: Радио и связь,1985.

8. Ненашев А. П., Коледов Л. А. Основы конструирования микроелектронной апаратуры. – М.: Радио и связь,1981.